產(chǎn)品用途：本機(jī)主要用于硅片、石英晶體、玻璃、陶瓷、藍(lán)寶石、砷化鎵、鐵氧體、鈮酸鋰等零件的精研平面加工，也適用于閥板、閥片、光導(dǎo)纖維、計(jì)算機(jī)儲(chǔ)存盤及其他片狀金屬、非金屬零件的精研平面加工。該設(shè)備的主要特點(diǎn)是四動(dòng)作雙面高速磨削，上、下研磨盤作相反方向轉(zhuǎn)動(dòng)，工件在載體內(nèi)作既公轉(zhuǎn)且自轉(zhuǎn)的游星運(yùn)動(dòng)，上、下面同時(shí)均勻磨削，游星輪自轉(zhuǎn)方向可以改變。上、下研磨盤的平面度可以自動(dòng)修正，下研盤可以自動(dòng)抬升，研磨量可分別由計(jì)數(shù)、計(jì)時(shí)或測(cè)頻自動(dòng)控制，電機(jī)無級(jí)調(diào)速，啟停平穩(wěn)，并能選擇理想的磨削速度，研磨壓力分重、中、輕無級(jí)可調(diào)。主要技術(shù)參數(shù)：
1、研磨盤尺寸：
上研盤φ640mm×φ235mm×28mm
下研盤φ640mm×φ235mm×30mm2、游星輪參數(shù)：
公制M=2 Z=114
英制DP12 Z=1083、游輪數(shù)量：
5個(gè)4、最小加工物厚：
0.2mm5、最大加工物徑：
φ180mm6、研磨盤轉(zhuǎn)數(shù)：
0~58rpm7、主電機(jī)：
4kW 380V 1440rpm8、氣源：
0.5~0.6MPa9、外形尺寸（長(zhǎng)×寬×高）：
1350mm×960mm×2500mm10、
質(zhì)量：
約1800kg主機(jī)精度：1．下研磨盤端跳：
0.04mm2．上下研磨盤平面度：
0.015mm3.太陽輪徑向跳動(dòng)：
0.15mm4．齒圈徑向跳動(dòng)：
0.2mm加工精度（四個(gè)修正輪修研后）：1．加工件平行平面度：
0.003mm/Φ75mm 加工能力：
1.
單片承片量：8片/Φ50mm
4片/Φ75mm2.
整盤承片量：40片/Φ50mm
20片/Φ75mm