詳細描述：

石墨托盤是一種用于LED外延晶圓制程的石墨承載盤，包括若干個設置在承載盤上方的晶圓凹槽，用于置放外延晶圓襯底，所述晶圓凹槽的內側邊緣設置有一擋板結構，且所述擋板與晶圓襯底成互補關系，二者以擋板、晶圓襯底的平邊為重合邊構成大致圓形，所述擋板結構能夠減少在外延生長過程晶圓凹槽中的晶圓襯底平邊空隙位置，保證晶圓襯底平邊溫度和氣流穩(wěn)定，從而提高外延晶圓襯底的邊緣良率。

     上海弘竣實業(yè)有限公司生產的半導體外延片生長的CVD石墨托盤采用德國進口石墨,具有更好的穩(wěn)定性、更長的使用壽命。還可根據(jù)客戶的要求定制。更好的為半導體廠商服務

技術
1)用于LED外延片加工石墨頂板;
2)擋板結構內部晶片邊緣休息;
3)擋板與晶片襯底到兩個層次之間的互補關系;
4)保持擋板晶片襯底邊緣重合邊構成充分循環(huán)。

功能
1)較低的熱膨脹系數(shù)
2)thermak導電性更好
3)穩(wěn)定的化學perfermance
4)更好的耐蝕性
5)較強的導電性

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