應(yīng)用原理：

在使用油擴(kuò)散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點(diǎn)的蒸汽，但其抽除殘余氣體的能力低，時(shí)間長，而且所殘余氣體還是工件的污染源，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響,超低溫捕集泵則是解決問題的上佳選擇。

水汽捕集泵的工作原理：將一個(gè)能到-130℃以下的制冷盤管，放置在真空室中或油擴(kuò)散泵的泵口，通過其表面的低溫冷凝效應(yīng)，迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時(shí)間(可縮短60%—90%的抽氣時(shí)間)、獲得潔凈的真空環(huán)境(真空度可提高半個(gè)數(shù)量級(jí)，達(dá)到10-8Torr、10-5Pa)。

實(shí)際應(yīng)用：

主要適用于物理(化學(xué))氣相沉積鍍膜、真空蒸發(fā)鍍膜、磁控濺射鍍膜、離子鍍膜等真空鍍膜設(shè)備,光學(xué)鍍膜、卷繞鍍膜等各種功能鍍膜或裝飾鍍膜系統(tǒng)?？梢栽谡婵帐覂?nèi)抽吸水汽，也可以用于冷阱等冷卻裝置防止擴(kuò)散泵返油。

1、水汽捕集器：

    它的制冷盤管經(jīng)常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內(nèi)、卷繞鍍膜上下室內(nèi)等部位。適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場合。盤管需要有加熱除霜裝置，使盤管每次開門之前恢復(fù)到常溫，避免低溫盤管從大氣中吸收大量的水汽而結(jié)霜，影響下次抽真空。

2、超低溫冷阱：

    放在油擴(kuò)散泵的泵口，高閥以下，它主要功能是防止油擴(kuò)散泵返油，同時(shí)也可以加快抽速、提高真空度。由于系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，無需除霜裝置。

根據(jù)需要,二者可以分別安裝或者同時(shí)安裝。